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海海金属メテリアルズ株式会社

海海チタン有限公司


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AlCrスパッタリングターゲット、高品質、モノリシック、プレーナ、Cathodic ARC、PVDコーティング、薄膜蒸着、HIP、粉末冶金、マグネトロンAlCrスパッタリングターゲットメーカーとサプライヤー

Haohai Metalは、最高の純度、密度、均一性を備えたAlCrスパッタリングターゲットとカソードの全範囲の組成を提供します。 粉末冶金製造ルートにより、カスタマイズされたコーティングを作成するための他の追加要素を導入することができます。 私たちのAlCrスパッタリングターゲットとカソードは、特に破損や長期耐久性に優れており、AlCrターゲット材料にとって最も信頼できるパートナーとなります。

制品の詳細

AlCrスパッタリングターゲット、高品質、モノリシック、プレーナ、Cathodic ARC、PVDコーティング、薄膜蒸着、HIP、粉末冶金、マグネトロンAlCrスパッタリングターゲットメーカーとサプライヤー


アルミニウムクロムスパッタリングターゲット


AlCrNコーティングは、優れた高温耐摩耗性が必要とされ、最も高い耐酸化性が有益である工具コーティングに広く使用されている。 これらの特性は、他の元素との選択的合金化によってさらに顕著になり得る。 (Al、Cr) 2 O 3コーティングは、最近、コーティング市場に導入されている。 これらの新しいタイプのPVDコーティングは、CVDによって生成されたAl 2 O 3コーティングと競合することを意図している。 PVDプロセスは温度に制限があるので、純粋なアルファ - 酸化アルミニウムの形成はまだ不可能である。 Crをターゲット材料に添加すると、好ましいコランダム構造に(Al、Cr) 2 O 3が混在して成長する。


Haohai Metalは、最高の純度、密度、均一性を備えたAlCrスパッタリングターゲットとカソードの全範囲の組成を提供します 粉末冶金製造ルートにより、カスタマイズされたコーティングを作成するための他の追加要素を導入することができます。 私たちのAlCrスパッタリングターゲットとカソードは、特に 破損 や長期 耐久性に優れて おり、AlCrターゲット材料にとって最も信頼できるパートナーとなります。


Haohai MetalのAlCrスパッタリングターゲットには、矩形スパッタリングターゲット、円形スパッタリングターゲット、および陰極ターゲットが含まれる。





アルミニウムクロムプレーナ(長方形、円形)スパッタリングターゲット


製造範囲

矩形

長さ(mm)

幅(mm)

厚さ(mm)

カスタムメイド

10 - 2000

10〜600

1.0 - 25

円形

直径(mm)


厚さ(mm)

10〜400


1.0 - 25

 

仕様

構成[at%]

Al / Cr

30 /70、50/50、70/30、

純度

2N7(99.7%)、 3N(99.9%)、3.5N(99.95%)

密度

50 / 50at%で4.5g / cm 3、70 / 30at%で3.98g / cm 3

穀物のサイズ

<>

製造プロセス

冶金学熱間静水圧プレス(HIP)、機械加工

形状

プレート、ディスク、ステップ、ダウンボーリング、スレッディング、カスタムメイド

タイプ

モノリシック、マルチセグメントターゲット、ボンディング

表面

Ra 1.6ミクロンまたは要求に応じて

 

その他の仕様

  我々は、マルチセグメント化された構造部品において同じ結晶方向を確実にする。

  フラットネス、きれいな表面、磨かれ、亀裂、油、ドットなどがない

  高延性、高熱伝導率、均質な微細構造および高純度など




アルミニウムクロムアークカソード

我々はAlunimium Chromium平面アーク陰極とAlunimium Chromium平面スパッタリングターゲットを供給している




アルミニウムクロムスパッタリングターゲットとアークカソードについて


公差

Acc。 図面または要求に。


不純物含有量[wt%]

アルミニウムクロム純度[%]

要素

70/30原子%、3N

[99.9]

金属不純物[μg/ g]

アル

54.465

Cr

45.1

Fe

0.125

Si

0.215

Cu

0.002

Mn

0.004

非金属不純物[μg/ g]

C

0.015

O

0.071
S 0.004

H

0.002

N

0.002

保証密度[g / cm 3 ]

3.98

粒径[μm]

80

熱伝導率[W /(mK)]

-

熱膨張係数[1 / K]

-


分析方法:

GDMSを用いて金属元素を分析した(GDMS測定の典型的な精密およびバイアスはASTM F1593で議論されている)。

ガス成分は、LECOガスアナライザーを用いて分析した。

✦C 、SはCombustion-1Rによって決定される

IGF-TCによって決定されるN、H

IGF-NDIRによって決定されるO


応用

太陽光発電

フラットパネルディスプレイ

耐磨耗コーティング



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