製品カテゴリ
お問い合わせ

海海金属メテリアルズ株式会社

海海チタン有限公司


住所:

植物No.19、TusPark、Century Avenue、

Xianyang City、Shaanxi Pro。、712000、中国


Tel:

+86 29 3358 2330

+86 29 3358 2349


ファックス:

+86 29 3315 9049


Eメール:

info@pvdtarget.com

sales@pvdtarget.com



サービスホットライン
029 3358 2330

タンタルは、スパッタ リング ターゲット、高純度、モノリシック、平面、陰極アーク、PVD コーティング、薄膜成膜、スパッタ、マグネトロンスパッタ Ta 対象メーカーとサプライヤー

Haohai タンタルのスパッタ リング ターゲット、均一で高密度微細構造によって特徴付けられるし、均一料金をスパッタリングと一般的に優れたスパッタ現象を促進する、制御されたテクスチャは世界中の非常に良い評判を獲得します。

制品の詳細

タンタル スパッタ リング ターゲット


スパッタ リング ターゲット材タンタル金属、磁気記録媒体、プリンター部品、フラット ・ パネル ・ ディスプレイ、光学、産業ガラスと薄膜抵抗器の配線銅スパッタ リング プロセスによる薄膜を作る。

Haohai タンタルのスパッタ リング ターゲット、均一で高密度微細構造によって特徴付けられるし、均一料金をスパッタリングと一般的に優れたスパッタ現象を促進する、制御されたテクスチャは世界中の非常に良い評判を獲得します。

Haohai タンタル スパッタ リング ターゲットは、タンタル モノリシック回転スパッタ リング ターゲット、タンタル平面スパッタ リング ターゲットおよびタンタル陰極ターゲットに含まれます。



タンタル単一円筒回転 (回転) スパッタ リング ターゲット

製造可能範囲

外径 (mm)

ID (mm)

長さ (mm)

カスタムメイド

50 - 300

30 - 280

100 - 3000


仕様

組成

Ta

純度

3.5N (99.95%),4N (99.99%)、4.5N (99.995%)

密度

16.6 g/cm3

粒径

運針停止;80 ミクロンまたはリクエスト

製造プロセス

電子ビーム (EB) 溶解、鍛造、押出、加工

図形

ストレート、犬の骨

端点タイプ

SCI、SRF、DSF、RFF、整式、VA、GPI 固定、スパイラル溝のカスタムメイドを終了します。

表面

Ra 1.6 ミクロンまたはリクエスト

その他仕様

最終加工後脱脂して消磁を蒸気します。

生管、外径の同軸度に ID を確保するため作成された後 HONED と OD 地として指定する ID は、図面の要件を満たしています。

1 x 10 を超えないように任意の場所で高真空タイトな漏れ率-8STD CC/秒

表面のシールを保護するためにプラスチックでシール、保護するため、泡、キャップの端に包まれて


通常のサイズ

タンタル ロータリー

スパッタ リング ターゲット

通常のサイズ

ID 55 ミリメートル x 70 ミリメートル長い x 1334 の外径 mm

80 mm 内径 100 mm 外径 x x ロング

ID 125 ミリメートル x 153 ミリメートル長い x 576 の外径 mm

ID 125 ミリメートル x 153 ミリメートル長い x 800 の外径 mm

ID 125 ミリメートル x 153 ミリメートル長い x 895 の外径 mm

ID 125 ミリメートル x 155 ミリメートル長い x 895 の外径 mm

ID 125 ミリメートル x 153 ミリメートル長い x 1172 の外径 mm

ID 125 ミリメートル x 153 ミリメートル長い x 1676 の外径 mm

ID 125 ミリメートル x 153 ミリメートル長い x 1940 の外径 mm

ID 125 ミリメートル x 153 ミリメートル長い x 1994 の外径 mm

ID 125 ミリメートル x 153 ミリメートル長い x 2420 の外径 mm

ID 125 ミリメートル x 153 ミリメートル長い x 3191 の外径 mm

ID 125 ミリメートル x 153 ミリメートル長い x 3582 の外径 mm

125 mm 内径 x 外径 153 mm x ロング

ID 125 ミリメートル x 180 ミリメートル長い x 624 の外径 mm

194 ミリメートル ID x 219 ミリメートル長い x 2301 の外径 mm



タンタル平面 (四角形、円形) スパッタ リング ターゲット

製造可能範囲

四角形

長さ (mm)

幅 (mm)

厚さ (mm)

カスタムメイド

10 - 2000

10 - 800

1.0 - 25

円形

直径 (mm)


厚さ (mm)

10 - 1000


1.0 - 50


仕様

組成

Ta

純度

3.5N (99.95%)、4 N (99.99%),4.5N (99.995%)

密度

16.6 g/cm3

粒径

運針停止;80 ミクロンまたはリクエスト

製造プロセス

電子ビーム (EB)、溶融鍛造、圧延、加工

図形

プレート、ディスク、ステップ、カスタムメイド

種類

モノリシック、マルチ セグメント化されたターゲット

表面

Ra 1.6 ミクロンまたはリクエスト

その他の仕様

我々 は同じ木目方向をマルチ セグメント化された構成部品の確認します。

平坦性、表面をきれいに、洗練された、亀裂、油、ドットなどの無料。




タンタル アーク陰極

タンタル ロータリーおよび平面アーク陰極同様、ロータリーと平面スパッタ リング ターゲットを供給します。




タンタル スパッタ リング ターゲット アーク陰極の


トレランス

アセサリー図面またはリクエスト。


異なる価格と可用性と純度レベルの選択肢があります。DC プラズマによる純度を測定、ガスは LECO アナライザーで測定されます。グロー (グロー放電質量分析法) によってより詳細なテストは利用可能です。


不純物コンテンツ [ppm]

純度 [%]

要素

3N5

[99.95]

4 N

[99.99]

4N5

[99.995]

金属不純物 【 μ g/g

アル

10

1

0.5

Ca

10

1

1

Cl

3

1

1

Co

10

1

0.5

Cr

10

1

0.5

Cu

5

1

0.5

Fe

50

5

1

K

2

0.4

0.1

1

0.5

0.05

Mg

10

1

0.5

Mn

10

1

0.5

Mo

50

10

10

Na

1

0.4

0.4

Nb

300

100

50

Ni

20

5

1

Pb

5

1

1

Si

10

1

0.5

Sn

10

1

1

Ti

10

1

1

V

5

1

1

W

150

80

50

Zn

5

1

1

Zr

20

5

1

非金属不純物 【 μ g/g

C

40

30

30

O

100

80

80

H

10

10

5

N

40

20

20

S

10

5

1

保証密度 [g/cm3]

16.6

16.6

16.6

粒 [μ m]

100

100

100

熱伝導率 [W/(m.K)]

max.60

max.60

max.60

熱膨張 [1/K]

6.3-6

6.3-6

6.3-6

アプリケーション

大面積ガラス コーティング

耐磨耗コーティング

光学コーティング

半導べ電性



Haohai 金属、専門工場、装備は大手メーカーと製品を接合の様々 なサイズのサプライヤーの一つです。我々 は、タンタルのスパッタ リング ターゲット、高純度、モノリシック、平面、陰極アーク、pvd コーティング、薄膜形成、ta スパッタ ターゲット メーカーとサプライヤーです。購入し、低価格、高使用率、高純度、私たち生産者と高品質製品を卸売へようこそ。

Hot Tags: タンタルは、スパッタ リング ターゲット、高純度、モノリシック、平面、カソード アーク、PVD コーティング、薄膜蒸着、マグネトロンスパッタ Ta スパッタ リング ターゲット製造業者、サプライヤー、メーカー、サプライヤー、工場、生産者、卸売、価格、購入、サイズ、接合、高品質、高純度、高使用率
関連商品
引き合い