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海海金属メテリアルズ株式会社

海海チタン有限公司


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チタン スパッタ リング ターゲット、高純度、モノリシック、回転 (ロータリー、シリンドリカル)、平面 (四角形)、陰極アーク、PVD コーティング、薄膜形成、マグネトロンスパッタ Ti スパッタ リング ターゲットの製造業者およびサプライヤー

Haohai スパッタ リング ターゲット ターゲット材料の部門として (TMD) Haohai 金属、モダンで設備の整った工場とチタン材料、オプション、アプリケーションについての貴重な知識と我々 を特殊金属 (特にチタン) 薄膜蒸着材料のスパッタ リング ターゲット構成ではクライアントの要件に従って様々 な提供します。マテリアルのプロパティとフォームは、個々 のチャンバー型および成膜プロセスの最適化されています。

制品の詳細

チタン スパッタ リング ターゲット


Haohai 金属チタン及びチタンのトップクラス メーカーとして 18 年以上の合金、チタンの Haohai に多くの企業、チタン合金のため、彼らは私たちにその仕様を満たす、または高品質のチタン製品を提供する最も信頼性の高いベンダーを考慮します。

Haohai スパッタ リング ターゲット、ターゲット材料の部門として (TMD) Haohai 金属、近代的で整った工場とチタン材料、オプションおよびアプリケーションに関する貴重な知識特殊金属 (特にチタン) 薄膜スパッタリングが #39; に従ってターゲット構成の様々 な蒸着材料を提供しています s 要件。マテリアルのプロパティとフォームは、個々 のチャンバー型および成膜プロセスの最適化されています。


社内の材料合成・製造業務は、スパッタ リング ターゲットの業界最先端の価値を提供する私たちを有効にします。


Haohai チタン スパッタ リング ターゲットには、チタン モノリシック ロータリー スパッタ リング ターゲット、平面のスパッタ リング ターゲットや陰極のターゲットが含まれます。




チタン モノリシック回転 (ロータリー、シリンドリカル) スパッタ リング ターゲット

製造可能範囲

外径 (mm)

ID (mm)

長さ (mm)

カスタムメイド

50 - 300

30 - 280

100 - 4000

仕様

組成

Ti

純度

CP グレード 2 (99.5%)、CP グレード 1 (99.7%)

3N5 (99.95%)、4 N (99.99%)、4N5 (99.995%)

密度

4.51 g/cm3

粒径

運針停止;80 ミクロンまたはリクエスト

製造プロセス

真空溶解、鍛造、押出、加工

図形

ストレート、犬の骨

端点タイプ

SCI、SRF、DSF、RFF、整式、VA、GPI 固定、スパイラル溝のカスタムメイドを終了します。

表面

Ra 1.6 ミクロンまたはリクエスト

その他仕様

最終加工後脱脂して消磁を蒸気します。

生管、外径の同軸度に ID を確保するため作成された後 HONED と OD 地として指定する ID は、図面の要件を満たしています。

1 x 10 を超えないように任意の場所で高真空タイトな漏れ率-8STD CC/SEC.

プラスチックのシール、保護するため、泡、キャップの端に包まれてシールを保護するために表面します。

通常のサイズ

チタン ロータリー

スパッタ リング ターゲット

通常のサイズバックアップ管

ID 55 ミリメートル x 70 ミリメートル長い x 1334 の外径 mm

80 mm 内径 100 mm 外径 x x ロング

ID 125 ミリメートル x 153 ミリメートル長い x 576 の外径 mm

ID 125 ミリメートル x 153 ミリメートル長い x 800 の外径 mm

ID 125 ミリメートル x 153 ミリメートル長い x 895 の外径 mm

ID 125 ミリメートル x 155 ミリメートル長い x 895 の外径 mm

ID 125 ミリメートル x 153 ミリメートル長い x 1172 の外径 mm

ID 125 ミリメートル x 153 ミリメートル長い x 1676 の外径 mm

ID 125 ミリメートル x 153 ミリメートル長い x 1940 の外径 mm

ID 125 ミリメートル x 153 ミリメートル長い x 1994 の外径 mm

ID 125 ミリメートル x 153 ミリメートル長い x 2420 の外径 mm

ID 125 ミリメートル x 153 ミリメートル長い x 3191 の外径 mm

ID 125 ミリメートル x 153 ミリメートル長い x 3582 の外径 mm

125 mm 内径 x 外径 153 mm x ロング

ID 125 ミリメートル x 180 ミリメートル長い x 624 の外径 mm

194 ミリメートル ID x 219 ミリメートル長い x 2301 の外径 mm

80 mm 内径 88.0 mm 外径 x x ロング

125 mm 内径 1940.0 × 133.0 mm 外径 x 長さ mm

x 3200.4 x 132.5 mm 外径 125 mm ID ミリメートル長い

125 mm 内径 132.5 mm 外径 x x ロング

チタンの平面構成と比較して、Haohai チタン円筒スパッタ リング ターゲットを提供します。

大きな浸食ゾーン材料使用率の 2 倍から 2.5 倍の提供します。

ターゲット寿命 changeouts と商工会議所のメンテナンスのためのダウンタイムの頻度を低減します。

モノリシック、細分化や熱スプレー形式でカスタム製造。

個々 のカソード システム設計の加工精度は、機能を終了します。

大面積のコーティングのための所有権のコストを削減します。

様々 な材料を含みます。

最適粒と均一な微細構造は、人生の終わりを完全を通じて一貫性のあるプロセスのパフォーマンスを保証します。

完全な均一性と高純度のレベルは、一貫した取材を生成します。

Randamp から任意のサイズの操作に材料を供給することができる; D は本格生産します。




チタン平面 (四角形、円形) スパッタ リング ターゲット

Haohai 標準面取り、穴ドリルの位置とスレッド、2000 mm 溝平面モノリシックまたは平面接合ターゲットの寸法や構成まで使用可能な targetsforthin filmare をスパッタリングとバッキングに古いスパッタリング装置として最新のプロセス機器の両方で動作するように設計されています。


製造可能範囲

四角形

長さ (mm)

幅 (mm)

厚さ (mm)

カスタムメイド

10 - 2000

10 - 1200

1.0 - 50.8

円形

直径 (mm)


厚さ (mm)

10 - 1000


1.0 - 100

仕様

組成

Ti、ti 6al4v グレード 5

純度

CP グレード 2 (99.5%)

3N (99.9%)、3.5N (99.95%)、4 N (99.99%)、4.5N (99.995%)、5 N (99.999%)

密度

4.51 g/cm3

粒径

運針停止;80 ミクロンまたはリクエスト

製造プロセス

真空溶解、鍛造、転造、機械加工

図形

プレート、ディスク、ステップ ボルト、ダウン スレッド処理、カスタムを作った

タイプ

モノリシック、マルチ セグメント化されたターゲット、Bongding

表面

Ra 1.6 ミクロン

その他の仕様

四角形のターゲット

ASTM B265 あたりの圧延板

四角形ターゲットの我々 はウォーター ジェットによるサイズに大きなプレートをカット、同じ組成、機械的性質、粒構造のすべての部分を確認してくださいバッチは均一で一貫性のあります。マスター プレートのレイアウトを供給できる、お客様がマーキング システムのあらゆる部分の位置をトレースできます。

円形ターゲット

ASTM B348 あたりの圧延棒

円形ターゲットのサイズに、ワイヤ電極切断、構図を確認する長いバーをカット我々、機械的性質と同じバッチの各部品の粒界構造が均一で一貫性のある、マスターのバーのレイアウトを指定することができます、お客様がマーキング システムのあらゆる部分の位置をトレースできます。


我々 は同じ木目方向をマルチ セグメント化された構成部品の確認します。

平坦性、表面をきれいに、洗練された、亀裂、油、ドットなどの無料。




チタン アーク陰極

我々 は同様にロータリーとスパッタ リング ターゲット平面ロータリーおよび平面アーク陰極を供給します。




Haohai チタン ターゲットとアークの陰極をスパッタ法します。


トレランス

アセサリー図面またはリクエスト。


不純物コンテンツ [ppm]

純度 [%]

要素

グレード 2

[99.5]

グレード 1

[99.7]

3N5

[99.95]

4N5

[99.995]

金属不純物 【 μ g/g

Ag

-

-

0.4

0.05

として

-

-

0.5

003

アル

-

-

0.5

0.1

Ca

-

-

0.5

0.2

Cd

-

-

0.8

0.05

Cr

-

-

0.15

0.05

Cu

-

-

1.2

0.05

Fe

3000

2000

10

3

Mg

-

-

0.6

0.06

Mn

-

-

0.01

0.06

Mo

-

-

0.2

0.5

Sb

-

-

0.5

0.05

Pb

-

-

0.3

0.01

Sn

-

-

0.4

0.05

V

-

-

0.1

0.02

W

-

-

0.2

0.01

Zn

-

-

0.3

0.05

Zr

-

-

0.8

0.05

Hf

-

-

0.2

0.01

U

-

-

0.001

0.001

Ta

-

-

2

1

非金属不純物 [μg ・ g]

C

800

800

30

10

O

2500

1800

80

5

H

150

150

5

1

N

300

300

20

5

S

-

-

1

0.05

保証密度 [g/cm3]

4.5

4.5

4.5

4.5

粒サイズ [μm]

60

60

60

60

熱伝導率 [W/(m.K)]

max.25

max.25

max.25

max.25

熱膨張 [1/K]

10.8-6

10.8-6

10.8-6

10.8-6

アプリケーション

大面積ガラス コーティング (Low E, 自動車)

ディスプレイ産業

耐磨耗コーティング

装飾的なコーティング

太陽の andamp;太陽光発電産業



Haohai 金属、専門工場、装備は大手メーカーと製品を接合の様々 なサイズのサプライヤーの一つです。我々 は、スパッタ リング ターゲット、高純度、モノリシック構造の回転 (ロータリー、円筒)、平面 (四角形)、陰極アーク、pvd コーティング、薄膜蒸着、スパッタ リング ターゲット メーカーとサプライヤー マグネトロン ti チタンです。購入し、低価格、高使用率、高純度、私たち生産者と高品質製品を卸売へようこそ。

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